はじめに：目に見えない脅威

半導体製造工場や衛星組立工場などのクリーンルーム環境では、たった一つの埃や微細な油滴が数百万ドルのウエハを台無しにする可能性があります。標準的なリニアコンポーネントは、摩擦によって粒子を剥がし、潤滑油からガスを放出するため、本質的に「汚れ」を帯びています。

このような環境で動作するために、 TOCO コンポーネントは特定の要件を満たす必要があります ISO-14644 1 クラスでは、目標は両方を最小限に抑えることです 粒子生成 および ガス放出.

1. ガス放出の理解（TMLとCVCM）

真空または高温のクリーンルームでは、標準的なグリースは分子レベルで「沸騰」します。これはアウトガスと呼ばれ、この蒸気は敏感なレンズやセンサーに凝縮し​​、曇らせます。

• ソリューション： TOCOは専門的な フッ素系潤滑剤（PFPE）これらは蒸気圧が非常に低いため、真空中でも液体のままです。

• 真空対応性: 宇宙グレードのアプリケーションでは、材料が低総質量損失 (TML) 要件を満たすことを保証します。

2. 微粒子制御：ISO評価

キャリッジが動くたびに、ボールとレールの間の摩擦によって小さな金属片やプラスチック片が生成されます。

• ISO クラス 5 以上: 使用が必要です 低ダストボールチェーン （ 医療およびラボオートメーションにおける直線運動) ボール同士の摩擦を防ぐためです。

• ステンレスのみ: 酸化粒子（サビ粉）の発生を防ぐため、すべての構成部品はSUS440Cまたは同等のステンレス合金で作られています。

• 吸引スペーサー: 高度な TOCO クリーンルーム モジュールには、ベローズ内部から空気を「吸い出す」真空ポートが含まれることが多く、粒子が室内に漏れる前に捕捉します。

3. 表面処理：「剥がれ防止」のルール

黒色酸化物などの標準的なコーティングは、時間の経過とともに剥がれ落ちる可能性があります。クリーンルームには、以下の対策をお勧めします。

• 無電解ニッケルめっき： 粒子が落ちない、非常に硬く滑らかな表面を実現します。

• レイデント処理: スチール格子と一体化した特殊な極低温コーティングにより、剥離の危険がなく、優れた耐腐食性を実現します。

4. 特別な梱包とクリーニング

クリーンルームのコンポーネントの清潔さは、最後の接触によってのみ決まります。

• 超音波洗浄: 組み立て前に、部品は制御された環境で多段階の超音波脱脂処理を受けます。

• ダブルバギング: TOCOクリーンルーム製品は、ISOクラス6の環境下で洗浄、潤滑、そして二重真空シールされています。外袋は「前室」で取り外され、内袋はクリーンルーム内でのみ開封されます。

5. デザインのヒント: 長寿命化のためにオーバーサイズにする

クリーンルームではメンテナンスが容易ではありません。必要以上に高い負荷容量のTOCOレールを選択することで、ボールにかかる内部応力が軽減され、軌道面からのパーティクル剥離率が大幅に低下します。